氮化镓的一些常识

氮化镓的好处是什么?

允许制造99%效率,kW级别的功率转换器,因为效率很高,所以切换时的发热也相应很小,于是氮化镓制造的功率切换器的切换频率可以超过MHz,通过合适的设计、集成以及hybrid GaN/CMOS制造,频率甚至可以达到40-75MHz。就像那个视频里写到的,高频运行可以使得inductorcapacitor的尺寸和重量降低,从而产生一个更紧凑的转换器设-

GaN基器件最首要的优势就是由于禁带宽度达到了3.4eV,可以在非常高的温度条件下使用,对于HEMT可以稳定工作在400~500℃的环境下,而硅基MOSFET通常的最高运行温度只能是125~150℃。其实这个主要还是从热激发的角度来考虑的。如果禁带宽度比较窄,温度稍有上升,就会使得大量电子跃迁到导带,导致半导体的导电性增强,在某些应用中可能导致器件性能的退化。

而硅的禁带宽度只有1.12eV,GaN的击穿电压是3.3 MV/cm,Si的击穿电压只有0.3 MV/cm,比硅高11倍,哦这个可以换一个说法来理解,就是说在承受相同电压的条件下,GaN可以做到比硅薄11倍,因此电阻也大幅减小了,在功率切换的时候造成的阻态损失也小了许多。这个可以很好地帮助理解啊,击穿场强高的好处或许不是可以做出应用电压场合更高的器件,而是在同等电压的应用场合,GaN可以做得更薄更小。

哪两个系数可以用来衡量一个材料的高速特性和高功率特性?

JFOM,最大电压和最大切换频率的成绩,这个数表明,具有更高击穿场强的device,通常会慢一点。

巴利加优值衡量了导通电阻。对于低频的应用,导通电阻占了大头。

同时其实击穿场强和禁带宽度其实并不是独立的,击穿场强和禁带宽度有着幂律的依赖关系。

另一板斧,高电子饱和速度和高迁移率,进一步降低了器件电阻。

氮化镓的应用场景是什么?

以电压来分类的话,低压场景,漏极电压小于200V,用作dc-dc功率转换器,马达驱动,无线功率传输,LiDAR和脉冲功率应用,功放等。

这种情况下,开态电阻可以小于2mΩ,或者达到100-200mΩ

高压场景,漏极电压达到650V,工业级转换器,广电,发光,等等。

超高压场景,超过1000V,数据通信,工业应用。

为什么要异质外延?

其实晶格不匹配只是其中的一个问题一是面向热膨胀系数的不匹配,SI是2.6e-6k-1,GaN是5.59e-6k-6,这可能会导致异质外延后冷却阶段GaN层破裂;而是晶格不匹配,大约11%的不匹配,这种不匹配可能会导致什么问题呢?可能会导致位错沿着GaN外延层的传播,并导致缺陷的产生。一定要仔细地放置这种缺陷传播到2DEG区域。

从这个图其实可以清晰地看到AlN/AlGaN阶梯式成核层是怎么阻止缺陷传播的。可以看到经过AlN/AlGaN这三层多读曾以后,晶格不匹配导致的缺陷和位错已经大幅降低了。

横向器件与纵向器件的区别?

  • 横向器件结构的限制是什么呢?尤其是当面向超高击穿电压和超高功率的需求的时候

    首先,对于横向的晶体管,击穿电压取决于栅极和漏极间的距离。因此,如果晶体管想要承受更高的电压,那么它的电阻就不得不增加,同时半导体面积也相应变大了,这会导致更高的制造成本。

    第二,2DEG的密度会显著受到表面电荷的影响,因此,最终器件的表现会显著依赖于工艺和BEOL。

  • 纵向器件结构的优势是什么呢?

    Si和SiC已经有很多纵向器件了,在纵向器件里,电流是从Bulk流过来的,哦那看来肖特基二极管和垂直MOSFET还是很不一样的, 虽然电流都是垂直流动的,但是垂直MOSFET是沿着沟道诱导的反型层流动的,而肖特基二极管看起来是沿着整个平面去跑的。

    纵向器件的击穿电压取决于轻掺杂漂移区的厚度,而不是器件整体的面积啦。

    氮化镓晶体管的开态电阻(二维电子气的密度,哦,看来电阻取决于两个内容,电子数密度越多,电子弛豫时间越长,则电阻率就越低)显著依赖于GaN的本征极化电荷, \[ E = \rho j=\rho nev =\rho Ee\tau ne/m \] 包括自发极化和压电极化,但这里要注意到的是这些电荷并不是发生运动的本身,而是这些点电荷诱导形成的电场才是间接地决定了2DEG的密度。也和表面态俘获的电荷有关,比如钝化层或者钝化层和AlGaN势垒层之前形成的界面,或者buffer中的态。因此,这是非常有必要搞清楚并操纵陷阱效应,因为他们可能会限制GaN晶体管的动态表型,引起开态电阻不可逆的增加。外延层中的陷阱或者栅极中的陷阱可能会导致正/负偏置的阈值不稳定(PBTI,NBTI)